潔凈室的氣流速度/通風(fēng)頻率一直是潔凈室設(shè)計(jì)中關(guān)注的問題。隨著潔凈室污染源控制效果的提高和最終過濾器效率的提高，有關(guān)規(guī)范和指南的推薦值或參考值是否保守的問題已經(jīng)引起了廣泛的討論。實(shí)踐中解決了有關(guān)噪聲、損壞和維修問題。隨著FFU技術(shù)的不斷完善，是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染（AMC）的控制越來越受到微電子和集成電路行業(yè)的重視。下面是對(duì)這些問題的總結(jié)和分析。

無(wú)塵潔凈室在一定潔凈度下的氣流速度的測(cè)定隨潔凈室的使用而變化。它不僅受室內(nèi)粉塵量和過濾器效率的影響，還受其他因素的影響。就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度和選擇氣流速度的主要因素有：

（1）室內(nèi)污染源：建筑構(gòu)件、人數(shù)及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝本身均為粉塵釋放源，根據(jù)具體情況變化較大；

（2）室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕罅骶€均勻、均勻，但由于工藝設(shè)備布置、位置變化和人員活動(dòng)的干擾，會(huì)形成局部渦流；非單向流要求混合，以避免死角和溫度分層。

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