天津無塵車間

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天津無塵車間

所屬分類：天津凈化系統
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發(fā)布日期：2020/11/04
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詳細介紹

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照慣例，無塵凈化無級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規(guī)定。也是說所謂無塵并非全部沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也是業(yè)內俗稱的1K級別。

無塵車間